Deși nu există un singur inventator al microscopului, în 1595, Zacharias Janssen și tatăl său, Hans, au inventat primul microscop compus. Producătorii de ochelari, invenția lor, au demonstrat că o serie de lentile în interior un tub creează o imagine mărită.
Microscopul Janssens a fost ținut de mână și a constat din lentile bi-convexe și plano-convexe care ar putea mări imaginile de până la de 10 ori dimensiunea lor reală. În anii 1600, Anton van Leeuwenhoek a dezvoltat un microscop simplu, cu o concentrare mai mare și o mărire pentru a vedea microorganismele și celulele. Microscopul compozit al lui Robert Hooke a folosit iluminarea pentru a observa celulele vegetale și animale, mineralele și fosilele. În anii 1800, Carl Zeiss, Otto Schott și Ernst Abbe au studiat în continuare mărirea și îmbunătățirea acurateței culorii și a sticlei. Ernst Ruska a inventat prima lentilă electronică în 1931.