Prima instalație geotermală a fost inventată în 1904 de către prințul Piero Ginori Conti. Acest sistem a folosit aburi pentru a genera energie electrică.
Până în 1922, prima plantă geotermală a fost construită în Statele Unite, cu o capacitate de 250 kilowați. Producția sa a fost mică și a fost mai târziu închisă din cauza problemelor tehnice. Mai târziu, în 1946, a fost construită o pompă de căldură cu sursă la clădirea Commonwealth din Oregon. Prima plantă geotermală de mari dimensiuni, cu o putere de 11 megawați, a fost construită în San Francisco în anii 1960. Pompele de căldură geotermale au câștigat popularitate în anii 1980, ca urmare a crizei petrolului din 1973. De atunci, energia geotermală a continuat să se dezvolte odată cu creșterea nevoii de a reduce costurile de răcire și încălzire.
