Frederick Guthrie a inventat dioda în 1873, dar nu a pus-o în practică. Thomas Edison a dezvoltat-o independent în 1880, apoi a folosit-o în brevetul său din 1883 al becului incandescent. John Ambrose Fleming a primit primul brevet pentru dioda în 1904.
Toate aceste diode precoce au fost diode tubulare vid. Dioda tubului vid a fost cea mai comună formă până în anii 1950, când diodele semiconductoare le-au înlocuit. Semnalele diodice au fost inventate la scurt timp după diodele cu tuburi vidate, dar nu au fost suficient de stabile pentru utilizare practică până la mijlocul secolului al XX-lea. Karl Ferdinand Braun a inventat prima diodă semiconductoră în 1874 și a patentat-o în 1899.
