Geometria moleculară a PF5, pentafluorura de fosfor, este biparamidă triunghiulară. Are 10 electroni care înconjoară un atom central al fosforului, creând cinci perechi de electroni într-o formă bipiramidală trigonală.
Potrivit Departamentului de chimie al lui Chem Tube 3D și Purdue, PF5 are trei atomi de fluor care se află de-a lungul ecuatorului moleculei. De asemenea, are doi atomi de fluor care sunt axiali și se află într-un plan perpendicular pe planul ecuatorial. Atomii fosforului și fluorului sunt legați covalent. Unghiurile de legătură dintre cele trei poziții ecuatoriale sunt de 120 de grade fiecare, iar unghiurile de legătură dintre pozițiile axiale și cele ecuatoriale sunt fiecare câte 90 de grade. Potrivit paginii Tutor Homework al lui David Roth, PF5 are un model de hibridizare a lui sp3d și are o distribuție simetrică a încărcăturii; prin urmare, molecula este nepolară.
